レチクル、基板設計

パネルレイアウトでは設計初段階および最終マスク作成段階において、ガラス基板上の多面取り検討を行います。
FineGFP（Glass Floor Planner）は最善な多面取り条件の追求試行作業を強力に支援します。基本ショット（設計データ）、レチクル（マスク）、ガラス基板作成用パラメータを入力し、ストロークチェックを保証したガラス基板設計データを出力し、作業工程を高効率化します。

詳細はこちら

ステッパー装置などに搭載されたレチクル面積よりパネルレイアウトが大きい場合には、ショット分割後の設計データを想定しながら設計が行われます。
FineRFP（Reticle Floor Plannner）では、パネルレイアウトをショット毎に分割し、露光時に必要なブラインド・パッチパターンを自動生成、さらにショット間クリアランスやステージ移動量、露光可能範囲チェックなどの検証、最終的にはレシピ情報出力（ショットやアライメントマークの中心座標）を行うことができますので、従来の設計スタイルからの変革を行い、画期的に設計効率を向上します。

FPD設計フロー

詳細はこちら