株式会社ジーダット

Particle-in-Cell法によるドライエッチング プラズマシミュレータ

K-PIC

　信頼性の高いセル内粒子法によるプラズマシミュレーションソフトウェア

  • GPU による計算並列化で、より高速に計算
  • CCP および ICP におけるプラズマ挙動の分析
  • 荷電粒子の運動を直接解析することで高精度を実現
  • プラズマ中のイオンと電子のエネルギー分布を解析
  • ウェハ上でのイオン入射角とエネルギー分布を解析
  • RLC 外部回路、マルチ周波数に対応
  • さまざまな入力パルス波形をサポート

液晶の動き、透過率、色度、視野角特性、電気特性を一気に解析可能です。

新機能　～Enhancement～

■ ご紹介

K-PICは、Particle-In-Cell（セル内粒子）法に基づいて、超高真空から数Torrまでの圧力範囲でのCCPおよびICP装置のプラズマ分析を行うために設計されたソフトウェアです。K-PIC は、使いやすい GUI と、さまざまな分析ツールを提供します。

■ 主な特長

・粒子の動きを直接解く Particle-in-Cell（PIC）シミュレーション ソフトウェア
・荷電粒子の運動を直接計算することにより高精度化
・ラグランジュ スキームにより、非線形で時間依存な現象の実装を可能に
・HARC プロセスで必要とされる低真空および高電圧プロセス条件下での高い予測力

■ 計算速度

K-PIC は、Graphic Processing Unit による高速並列化により、PIC (Particle-in-Cell) シミュレーションの計算速度を飛躍的に向上します。

■ 計算例

■ 計算例

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