DFM，掩膜验证

对应超过100GB的CAD数据，TB级掩膜数据的高速打开和显示
实现具有各种分析功能的综合LSI/FPD检查/分析环境
通过高性能API、高级脚本语言AXEL实现高扩展性

• 超大规模数据高速处理
• 设计数据，掩膜数据，图像文件的重叠显示
• 任何人都可以简单使用的直观可操作性
• 以充实的测长功能为中心的各种分析功能
• 强大的等电位追踪功能 和电路图生成
• 基于通用简单规则进行横截面，3D的连动显示
• 与各种设备连动，提高设备的利用率,优化检查/分析环境
• 在各种设备的控制平台中被采用

■在HOTSCOPE上追加制造/检查/分析设备I/F功能的定制工具/产品的事例

• 由绩达特开发部门为特定设备添加I/F功能的定制工具的实际运用。(也包含OEM产品)